微电子工艺实验教程
作者：王珏
其他责任人：王珏
出版日期：2025-07-01
出版社：电子工业出版社
页数：169
中图分类：工业技术->无线电电子学、电信技术->微电子学、集成电路（IC）
出版社分类： 教育->本科研究生->电子信息类
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- 简介
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本书是根据微电子工艺实验的基本教学要求编写的，秉持"理论与实践并重”的理念，在内容安排上注重对学生实验技能的培养。全书精心设计了12个实验，包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有详细的操作指导，部分实验还安排了启发性思考题和拓展实验内容，便于开展分层教学，各校可根据自己的需求选做。本书可作为高等院校微电子科学与工程、集成电路与集成系统、电子信息工程等专业实验的教材。
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